太阳能光伏扩散炉

太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。

       ◆工作温度：3001300℃

◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制

◆恒温度：1080mm（可根据用户要求定制）

◆温区精度（静态闭管测试）：

600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃

300℃≤工作温度≤600℃：±1℃

◆单点温度稳定（静态闭管测试）：

600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h

300℃≤工作温度≤600℃：±1℃/24h

◆温度斜变能力：

可控升温速度（300～1300℃）：15℃/min

降温速度（1300～900℃）：5℃/min

◆气体流量设定精度：±2％FS

◆气路气密：1×10-7PA.m3/s

◆自动送料装置行程：2000mm

速度：51000mm/min

SiC浆承重 19kg

◆装片数量 400片/管

◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）

◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；

◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min